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一种测量仪器，该测量仪器读取测量件，测量件包括在测量件的长度方向上布置的多个读取图案，每个读取图案包括在测量件的宽度方向上布置的多个图案，测量仪器包括：整平构件，其增加测量件的平坦度；以及第一读取器，在通过整平构件增加平坦度的状态下，第一读...
该专利属于富士通电子零件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富士通电子零件有限公司授权不得商用。

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