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本发明提供了一种光栅尺的安装装置、安装方法、光栅测量系统及光刻机，光栅尺的安装装置包括安装底板和自适应结构，安装底板的一端面上开设有一通孔，通孔用于提供光刻机的投影曝光光学系统的光路通道，光栅尺连接于安装底板的端面上，自适应结构包括柔性块、...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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