下载超声换能器件及制备方法的技术资料

文档序号:24790084

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本发明公开了一种超声换能器件及制备方法。超声换能器件包括基底和设置于基底上的换能结构层,换能结构层包括设置于基底上的第一电极层和位于第一电极层背离基底一侧的振膜层,第一电极层和振膜层之间形成空腔,空腔在所述基底上的正投影包括多边形区域以及位...
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