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本发明公开了一种高纯度气体制取装置。该装置整体外形结构呈圆柱状或正多边形体状；沿气体流动方向，所述装置依次包括原料气控制分配器、膜分离模块、吸附分离模块和产品气控制器。本发明通过模块化地设计原料气控制分配器、膜分离模块与吸附分离模块，将膜分...该专利属于中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司大连石油化工研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司大连石油化工研究院授权不得商用。