下载声学传感器的技术资料

文档序号:24782452

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本实用新型提供一种声学传感器,包括第一基板和第二基板;其中,在第一基板上设置有MEMS芯片,在第一基板内部埋设有与MEMS芯片电连接的ASIC芯片;在第二基板内埋设有与ASIC芯片电连接的容阻元件。利用上述实用新型能够降低对埋设芯片的损坏,...
该专利属于青岛歌尔智能传感器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛歌尔智能传感器有限公司授权不得商用。

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