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一种板材检测装置，包括检测平台和挡板；其中，检测平台包括：滑道板，滑道板为矩形；第一滑道壁，第一滑道壁固定在滑道板的一边；第二滑道壁，第二滑道壁固定在滑道板的另一边，与第一滑道壁平行，且与第一滑道壁高度一致；第一滑道壁、滑道板和第二滑道壁之...该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司授权不得商用。