下载涂覆研磨盘及其制备和使用方法的技术资料

文档序号:24765737

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本发明提供了涂覆研磨盘,该涂覆研磨盘包括盘背衬和设置在其上的磨料层。磨料层包括由至少一种粘结剂材料固定到盘背衬的主表面上的磨料元件。磨料元件设置在矩形网格图案的水平线和竖直线的相接交点处。每个磨料元件具有两个三角形磨料片,它们各自具有彼此连...
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