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一种具有恒温控制功能的功率半导体激光器及其制造方法,是在现有半导体激光器芯片制造技术的基础上,将半导体激光器芯片、半导体热电制冷器、负温度系数的热敏电阻有机地集成在一体。包括:半导体衬底、第一层二氧化硅层、n型缓冲层、n+欧母接触层、n电极...
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