温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种模斑转换器及其制备方法，包括：硅衬底以及埋氧层；位于埋氧层之上的第一波导以及与之平行的至少两个第二波导，第二波导设置于第一波导两侧；第一波导的宽度从入光面一侧到出光面一侧逐渐减小；位于所述埋氧层、第一波导及第二波导之上的上包...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。