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本发明公开一种使用偏振分像法实现晶粒双面同时等光程共焦检测的装置及方法，该装置包括在光路方向上依次设置CMOS或CCD相机、远心成像镜头、偏振分像棱镜组件、偏振立方分束器、直角转像棱镜、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，本发明...
该专利属于泉州师范学院所有，仅供学习研究参考，未经过泉州师范学院授权不得商用。

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