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本发明公开了一种可贴敷立式微电容式柔性力学传感器及其制作方法和应用。该电容式柔性力学传感器包括柔性衬底、敏感层以及至少两个电极,敏感层设置在柔性衬底的表面;敏感层包括设置在柔性衬底表面的电容微极板以及设置在电容微极板表面的纳米线导电网络层,...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种可贴敷立式微电容式柔性力学传感器及其制作方法和应用。该电容式柔性力学传感器包括柔性衬底、敏感层以及至少两个电极,敏感层设置在柔性衬底的表面;敏感层包括设置在柔性衬底表面的电容微极板以及设置在电容微极板表面的纳米线导电网络层,...