下载气体流量调节装置及质量流量控制器的技术资料

文档序号:24751363

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本发明提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器,该气体流量调节装置包括:阀口部件,在阀口部件中设置有第一进气通道;弹性件,包括通道密封面;驱动组件,用于驱动弹性件发生弹性变形或者恢复初始状态,以使通道密封面与第一进气通道的出气端接触密封或者...
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