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本发明提供了一种卡夹校正装置，其中，包括：校正机构和检测机构；所述检测机构包括检测触片和检测传感器；所述校正机构和所述检测传感器均设置在一承载台上，所述校正机构包括驱动部和与所述驱动部连接的推动部；所述推动部用于在所述驱动部的驱动下推动所述...
该专利属于北京七星华创集成电路装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创集成电路装备有限公司授权不得商用。

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