温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型实施例提供一种单晶炉用进料阀门控制装置及系统，该装置包括第一控制单元、第二控制单元和进料阀门回路，其中：第一控制单元，用于接收外部控制设备的控制信号，根据控制信号使第二控制单元执行触发动作；第二控制单元，用于在执行触发动作后进入工...
该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。