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本实用新型涉及仪器仪表测试技术领域，公开了一种光学高精度运动测量装置，该装置包括激光器组件部分、PSD传感器组件部分以及控制器组件部分；激光器组件部分与PSD传感器组件部分信号连接，PSD传感器组件部分的另一端与控制器组件部分连接；激光器部...
该专利属于四川航天计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过四川航天计量测试研究所授权不得商用。

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