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本实用新型公开了一种干燥装置，包括：密封腔体、密封腔体侧壁上的密封门、密封腔体内用于放置晶圆的晶圆架、用于向密封腔体内通入气体的进气装置，还包括至少一个连通密封腔体用于排出污染物的排放口，所述排放口与进气装置相对，且位于晶圆架和密封门之间的...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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