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一种在半导体设备制造工厂中为半导体制造操作提供含ＨＣｌ的超高纯试剂的现场辅助体系，该体系包括：一个连接到液体ＨＣｌ源并由它提供ＨＣｌ蒸气流的汽化源；所述的ＨＣｌ蒸气流被连接以通过离子纯化装置，它使含有高浓度盐酸的高纯水循环流与所述的ＨＣｌ蒸...
该专利属于斯塔泰克文切斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯塔泰克文切斯公司授权不得商用。

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