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一种在半导体器件制造设备中的现场子系统，用于向半导体制造操作提供包括ＨＦ的超高纯试剂，包括： 一个连接成接收ＨＦ源的蒸发源，从中提供一个ＨＦ蒸气流； 使所说的ＨＦ蒸气流通过一个提供高纯度水循环的离子提纯器单元，所述高纯度水中含有...
该专利属于斯塔泰克文切斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯塔泰克文切斯公司授权不得商用。

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