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用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置制造方法及图纸
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下载用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置的技术资料
文档序号:24724009
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用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,包括防爆管道、相配合地设在防爆管道顶部的防爆盖,防爆盖的上方设置相配合的防爆罩,防爆罩上均匀开设有若干定位孔,定位孔处分别设有贯穿的防脱落螺丝,防脱落螺丝固定防爆罩于防爆盖上方,使得大气流或热态挥发物瞬间冲出...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。
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