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本发明公开了一种硅片传输系统及方法，该硅片传输系统用于在片库、预处理机构和工件台之间传输硅片，该硅片传输系统包括：旋转机械手、垂直交接手和直线交接手，旋转机械手被配置为能够从片库取待预对准的硅片传送至预处理机构，旋转机械手还能够从直线交接手...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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