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本发明提供了一种投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机。投影物镜波像差检测装置包括：光源，用于提供检测光束；物面光栅标记单元，用于对检测光束进行分光，以得到第一方向上的第一光束和第二方向上的第二光束；分光准直单元，用于将经过投影物镜单元的光束...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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