下载具监测功能的振动传感器及其振动信号监测方法的技术资料

文档序号:24704695

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一种具监测功能的振动传感器,其包含基板、微机电振动感测芯片及特殊应用集成电路芯片。微机电振动感测芯片设置基板上,并用于侦测待测物所承受的振动以产生多个振动信号。特殊应用集成电路芯片设置基板上,且电性连接至微机电振动感测芯片,其包含取样模块、...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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