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一种用于微机电系统的铰链，所述系统包括固定部分(S)和能够至少沿平面外方向相对于所述固定部分(S)移动的至少一个部分(M)，所述铰链用于从固定部分(S)悬挂移动部分(M)，所述铰链(2)包括第一刚性部分(4)、在一端处固定到第一部分(4)并...该专利属于法国原子能源和替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过法国原子能源和替代能源委员会授权不得商用。
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一种用于微机电系统的铰链，所述系统包括固定部分(S)和能够至少沿平面外方向相对于所述固定部分(S)移动的至少一个部分(M)，所述铰链用于从固定部分(S)悬挂移动部分(M)，所述铰链(2)包括第一刚性部分(4)、在一端处固定到第一部分(4)并...