下载晶体原料盛载装置及晶体生长装置的技术资料

文档序号:24700190

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本发明提供了一种晶体原料盛载装置及晶体生长装置,涉及晶体生长设备的技术领域,晶体原料盛载装置包括依次水平相邻紧靠设置的多个承载单元,多个承载单元中包括对应于远离籽晶承载装置上的籽晶的小平面的一端设置的第一承载单元;沿远离籽晶的小平面的一端向...
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