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本发明提供了一种六角相三氧化二铈单晶薄膜的制备方法，包括以下步骤：提供反应腔室，所述反应腔室中包括样品台；将铈块装入蒸发源；将所述反应腔室抽真空；加热所述蒸发源；提供钨单晶衬底，对所述钨单晶衬底进行处理以获得原子级平整的表面；将处理后的所述...
该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。

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