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膜结构体具有：基板(11)，其是包含由(100)面构成的上表面(11a)的硅基板；取向膜(12)，其形成于上表面(11a)上，具有立方晶的晶体结构，且包含(100)取向的氧化锆膜；以及导电膜(13)，其形成于取向膜(12)上，具有立方晶的晶...
该专利属于前进材料科技株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过前进材料科技株式会社授权不得商用。

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