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本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底,设置有构成声学镜的空腔;和由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构,其中:声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域;所述空腔中设置有支撑部,所述支撑部用于支撑所述三明...该专利属于天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底,设置有构成声学镜的空腔;和由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构,其中:声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域;所述空腔中设置有支撑部,所述支撑部用于支撑所述三明...