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本发明涉及一种滤波器单元，包括：谐振器，具有静态电容；交叉反相模块；和消减模块，其中：所述交叉反相模块与所述谐振器并联；且所述消减模块与所述交叉反相模块并联，用于消减所述谐振器的静态电容。通过消减静态电容，例如可以调节谐振器的等效机电耦合系...
该专利属于天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

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