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窄设计窗口的对称双向可控硅静电防护器件及其制作方法技术
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文档序号:24690987
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本发明实施例提供了一种窄设计窗口的对称双向可控硅静电防护器件及其制作方法,包括:P型衬底,P型外延层,第一P阱、第二P阱、第三P阱、第四P阱,第一N型深阱、第二N型深阱、第三N型深阱,第一P+注入区、第二P+注入区、第三P+注入区、第四P+...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。
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