下载一种测试结构及半导体器件的技术资料

文档序号:24690968

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本发明提供的一种测试结构及半导体器件,所述测试结构包括第一掺杂类型区和第二掺杂类型区,所述第一掺杂类型区包括至少一个掺杂深度的子区域,每个子区域具有至少一个第一有源区;所述第二掺杂类型区,包括至少一个掺杂深度的子区域,每个子区域具有至少一个...
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