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一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置制造方法及图纸
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下载一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置的技术资料
文档序号:24682313
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本实用新型提供了一种用于背部损伤机防止硅片倒角轮廓擦伤装置,包括支架和连接于支架的挡板、缓冲垫,支架包括缓冲平台、支撑板和固定板,缓冲平台、支撑板和固定板还均为平板状,缓冲平台沿水平方向设置,支撑板设置为两个,两个支撑板对称连接于缓冲平台的...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。
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