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本发明属于微波测量技术领域，具体涉及一种薄膜生产中物理参数的测量方法。本发明的方法主要包括：通过微波传感器检测出薄膜穿过微波传感器衰减的能量r...
该专利属于绵阳人众仁科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳人众仁科技有限公司授权不得商用。

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