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一种反射式无指示光栅光学测量装置制造方法及图纸
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下载一种反射式无指示光栅光学测量装置的技术资料
文档序号:24676899
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本发明公开了一种反射式无指示光栅光学测量装置,包括光源、反射主光栅和接收器,光源、接收器设置在反射主光栅的同一侧,光源产生入射光线照射到反射主光栅上形成反射光线,接收器设置在反射光线的光路上反射主光栅上至少有3N+1根平行间隔排列的矩形光栅...
该专利属于广东光栅数显技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东光栅数显技术有限公司授权不得商用。
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