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本发明提供了一种探针标定的方法，包括如下步骤：在探针工作平台上的两个相互垂直的方向上分别安装激光传感器X‑LS和激光传感器Y‑LS，并在探针工作平台上安装定位仪；通过探针设计图纸或实际测量得到针尖P在探针坐标系下的粗略本地坐标；并测量探针上...
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