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本专利公开了一种共轭校正检验非球面镜的光学系统。检测设备中发光点发出的光线经校正透镜成像于待检非球面镜的共轭物点;待检非球面镜将共轭物点成像于共轭像点;共轭像点作为自准校正透镜的物点,光线经自准校正透镜自准原路返回。校正透镜和自准校正透镜生...该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。
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本专利公开了一种共轭校正检验非球面镜的光学系统。检测设备中发光点发出的光线经校正透镜成像于待检非球面镜的共轭物点;待检非球面镜将共轭物点成像于共轭像点;共轭像点作为自准校正透镜的物点,光线经自准校正透镜自准原路返回。校正透镜和自准校正透镜生...