下载一种下电极装置的技术资料

文档序号:24675201

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本实用新型涉及加工技术领域,具体涉及一种下电极装置,包括由下而上依次设置的基座、下驱动装置、中间连接件和上驱动装置,下驱动装置能够带动中间连接件在X轴方向和Y轴方向上相对基座往复移动,上驱动装置安装在中间连接件上;管座位于第一夹持机构和第二...
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