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本实用新型提供了一种基于压电原理的电子皮肤系统，其包括覆盖有柔性压电触觉传感器阵列的皮肤载体、逻辑控制单元和信号处理单元。其中，柔性压电触觉传感器阵列包括构造在一适于柔性应用的硅片上的读出电路层、和构造在读出电路层上的压电传感阵列层，读出电...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

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