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本专利公开了一种气凝胶隔热结构宽波段红外探测器。所述的红外探测器自衬底之上依次为隔热层、保护层、热敏电阻薄膜和金属电极；探测器采用硅片作为衬底，易于与现代硅基微电子加工工艺兼容，采用二氧化硅气凝胶薄膜作为隔热层，采用具有宽波段响应特性的锰钴...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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