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本实用新型提供一种激光微细加工设备,所述一种激光微细加工设备包括设置的激光光源部件、扫描部件、光束整形部件、光束测定部件、光束控制部件、加工平台部件、照明光源部件和监测部件。所述激光光源部件,用以发射多个激光,且多个激光的波长互不相同;所述...该专利属于苏州曼德特光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州曼德特光电技术有限公司授权不得商用。
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