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本实用新型公开了一种适用于等离子体装置的集尘罩，用于收集等离子体装置在真空室门开启时排出的固体微粒，属于机械技术领域。包括罩体、挡板1、挡板2、挡板锁紧旋钮、抽吸接口和安装支架。所述挡板1、挡板2两端分别以螺纹连接的形式与罩体两侧内端面相连...
该专利属于辽宁中晟华清科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁中晟华清科技有限公司授权不得商用。

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