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本发明提供一种节能、到达目标温度的时间短、对外界干扰的控制性良好以及装置小型化的恒温液循环装置。该装置具有恒温液回路部分（４）、冷冻回路部分（３）和控制部分（５）。其中冷冻回路部分（３）具有用变频电源控制转速的压缩机（７）、冷凝器（８）、电...
该专利属于SMC株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SMC株式会社授权不得商用。

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