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一种多腔室一体反应石英混合喷头制造技术
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文档序号:24651823
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本实用新型公开了一种多腔室一体反应石英混合喷头,包括顶部封口底部敞口的喷头本体,其内成型隔离柱,隔离柱外侧套装套管,与隔离柱之间形成隔离腔,套管外侧壁与喷头本体内侧壁密封连接环形衬板,其与喷头本体形成反应腔室,环形衬板下方成型隔板,喷头本体...
该专利属于湖州维德光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖州维德光电科技有限公司授权不得商用。
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