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本实用新型提供一种石英晶片切割机冷却装置,涉及晶片加工设备技术领域,包括机体以及设于机体上方的集水箱,机体的顶部设有盖体,盖体贯穿设有注水管,盖体的中部设有第一通孔,第一通孔贯穿设有过滤装置,过滤装置包括第一过滤槽,第一过滤槽的顶部设有卡合...该专利属于菲特晶(南京)电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过菲特晶(南京)电子有限公司授权不得商用。
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