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本实用新型公开了一种用于保证真空腔室的密封性的装置，包括：支撑架；驱动装置，固定在所述支撑架上；位置调节装置，固定在所述驱动装置上，并与真空腔室的密封盖相连；通过所述驱动装置带动所述位置调节装置运动，从而带动所述密封盖开启或关闭，其中，当所...
该专利属于北京精仪天和智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京精仪天和智能装备有限公司授权不得商用。

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