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本发明公开了一种溅射室颗粒捕集器，所述溅射室颗粒捕集器包括在所述颗粒捕集器的表面的至少一部分上形成的第一图案和第二图案。所述第一图案包括以下项中的一者：具有第一深度并且被第一线和第二线隔开的第一凹痕，以及具有第一高度并且被第一凹槽和第二凹槽...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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