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萨默费尼根有限公司
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具有增强的离子束聚焦和传输的碰撞室制造技术
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下载具有增强的离子束聚焦和传输的碰撞室的技术资料
文档序号:24615157
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一种多极杆离子导引件包含多个电极,所述多个电极围绕所述装置的纵向轴线安置以限定用于沿着所述装置的长度在相对的入口端和出口端之间传输离子的离子传输体积。电子控制器可操作地连接到RF功率源并连接到所述电极中的至少一些,且被配置成将至少一RF电位...
该专利属于萨默费尼根有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过萨默费尼根有限公司授权不得商用。
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