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复合金刚石涂层及其制备方法、微流体通道和微流体器件技术
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文档序号:24610146
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本发明公开了一种复合金刚石涂层及其制备方法、微流体通道和微流体器件,涉及涂层技术领域。该复合金刚石涂层包括中间层和形成在中间层表面的金刚石涂层,金刚石涂层的形核密度呈梯度变化,且复合金刚石涂层至少一部分表面具有亲水性,一部分表面具有疏水性;...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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