下载一种金刚石薄膜退涂方法的技术资料

文档序号:24610145

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本发明公开一种金刚石薄膜退涂方法,加热工件至预设温度,并让工件的具有金刚石薄膜的表面与含氧气体接触以使金刚石薄膜氧化燃烧去除。本发明所述的金刚石薄膜退涂方法采用氧化燃烧的方式来实现金刚石薄膜的退涂,退涂效果好、效率高,实施方便、简单、成本低...
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