下载一种用于金属掩膜板的转运装置的技术资料

文档序号:24608416

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本发明是一种用于金属掩膜板的转运装置,包括吊具和转运小车,吊具包括矩形框架,矩形框架顶部装有与机械手配合的悬挂横杆,矩形框架底部内侧装有用于固定金属掩膜板的脚垫,矩形框架内装有两根竖直的固定杆,固定杆上装有水平的支撑条,支撑条上装有一排若干...
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