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本发明公开了一种底面具有波浪结构的保持环和承载头，所述保持环由环形部构成，所述环形部由金属部和非金属部层叠胶合而成；所述环形部包括顶面、底面、外侧面和内侧面，所述顶面与承载头固定连接，所述底面与抛光表面抵接，所述外侧面设置于环形部的外侧并连...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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